法律分析:
一、本质不同。免予起诉较接近未犯罪，免于刑事处罚是认定了犯罪。
二、含义不同。免于指不被某种事物所涉及，免予一般指上行机关对下行机关或者行政机关对公民的免予处罚。
法律依据:
《中华人民共和国刑事诉讼法》 第十六条 有下列情形之一的，不追究刑事责任，已经追究的，应当撤销案件，或者不起诉，或者终止审理，或者宣告无罪：
（一）情节显著轻微、危害不大，不认为是犯罪的；
（二）犯罪已过追诉时效期限的；
（三）经特赦令免除刑罚的；
（四）依照刑法告诉才处理的犯罪，没有告诉或者撤回告诉的；
（五）犯罪嫌疑人、被告人死亡的；
（六）其他法律规定免予追究刑事责任的。
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