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晶圆级封装结构[发明专利]

2020-05-03 来源:尚车旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:晶圆级封装结构专利类型:发明专利发明人:高国华,郭飞

申请号:CN201510260508.X申请日:20150520公开号:CN104867907A公开日:20150826

摘要:本发明涉及一种晶圆级封装结构,包括:晶圆;导电金属垫,设置于所述晶圆上;保护层,覆盖于所述晶圆上表面,并使所述导电金属垫露出;绝缘层,覆盖于所述保护层的上表面,并具有露出所述导电金属垫的开口部,其中,在所述绝缘层的上表面形成有与所述开口部连通的沟壑;再布线层,填充于所述沟壑和所述开口部,并连通所述导电金属垫。相比与现有技术,将再布线设置在绝缘层的沟壑内,有效防止封装器件的再布线层(RDL)之间形成的电迁移路径,避免了短路等异常,从而减少器件失效的发生。

申请人:南通富士通微电子股份有限公司

地址:226006 江苏省南通市崇川区崇川路288号

国籍:CN

代理机构:北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)

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