专利名称：研磨装置及研磨方法专利类型：发明专利发明人：陈枫
申请号：CN201110231130.2申请日：20110812公开号：CN102922412A公开日：20130213
摘要：本发明提供一种研磨装置，包括：底盘；研磨头；研磨驱动装置，连接所述底盘和研磨头，用于驱动所述研磨头以研磨置于所述底盘的待研磨器件；终点装置，包括两个电极探头及与所述电极探头电连接的控制装置；其中，所述两个电极探头适于测量流经其间的研磨液的电流数值，所述控制装置与所述研磨驱动装置电连接。本发明还提供一种研磨方法。本发明通过根据所述电流数值的变化监控研磨进程，并进一步地控制研磨进程，避免过研磨对待研磨器件造成损伤。
申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江路18号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：骆苏华
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